Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения
Юрий Райзер, Михаил Шнейдер, Николай Яценко (Авт.)
Дано исчерпывающее изложение современного состояния знаний о высокочастотном разряде емкостного типа. Рассмотрена физика разрядных процессов, техника и практические методы эксперимента, диагностики, измерений при работе с высокочастотными разрядами, теория и численное моделирование разрядного процесса. Приведены важнейшие практические приложения: для создания активной среды лазеров (разряды среднего давления), плазменной и ионной обработки полупроводниковых материалов, используемых в электронике (разрядынизкого давления). Для студентов и аспирантов физических и соответствующих инженерных специальностей ВУЗов, а также для научных работников и инженеров.
ক্যাটাগোরিগুলো:
সাল:
12
প্রকাশক:
Наука,ФИЗМАТЛИТ,МФТИ
ভাষা:
russian
পৃষ্ঠা:
238
ISBN 10:
5741700063
ISBN 13:
9785741700068
ফাইল:
DJVU, 5.84 MB
IPFS:
,
russian, 12
Litres
বুক স্টোর যোগ করতে চান? support@z-lib.do এ আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন
File converter
অনুসন্ধানের আরো ফলাফল
More benefits 
